🗒️ 半导体晶圆上的缺陷类型

本文详细介绍了半导体晶圆上常见的八种缺陷类型:中心(Center)、圆环(Donut)、边缘定位(Edge-Loc)、边缘环(Edge-Ring)、局部(Loc)、随机(Random)、划痕(Scratch)和近满(Near-full)。每种缺陷都有其特定的分布模式和特征,文章通过图片示例清晰地展示了这些缺陷的视觉表现。这些信息对于半导体制造过程中的质量控制和缺陷检测至关重要,有助于提高晶圆生产的良品率和整体质量。